K7L-AT50漏液檢測帶有高度的抗化學品腐蝕能力。K7L能用于從半導體生產設施到食品加工設備的很多種應用中。
電極間電阻檢測方式
從50MΩ電阻液體到普通水都能穩定檢測。
可設定4級檢測范圍,能夠根據液體特性檢測。
防爆隔離柵(另售)
漏液位置檢測器在危險環境中也能夠使用、具有小型防爆隔離柵,已形成產品系列。
交流檢測方式
采用交流方式向檢測帶供給信號,安全不觸電。
干擾消除回路(PAT)
使用了3芯電纜的干擾消除回路具有出色的抗干擾性,可穩定檢測漏液。
多通道使用
電源回路與檢測回路的絕緣,在同一位置可安裝多個傳感器。
檢測半導體生產設施的結露和漏液
可以檢測清洗設備內部的結露和周圍的漏液。
有的抗化學腐蝕性的檢測帶
電極采用SUS316,絕緣包層采用聚乙烯。提高了耐酸堿性等。
檢測液體化學品存儲罐的管接頭處的漏液
可將檢測帶纏繞在管接頭處等有可能漏液的部位上檢測漏液。
CMP儀器中量筒的液體泄漏檢測
能檢測泄漏到排水盤中的液體,從而預防裝置損壞及晶片的清洗不良。
檢測電鍍設備的清洗液的液位
檢測清洗槽內的純水水位。
利用高靈敏度的高精度控制防止清洗不良。
注:在防爆區域中如果一個水槽上使用2個以上的K7L,請務必將水槽接地。